Thiết bị lọc bụi tĩnh điện ion hóa hạt bụi thông qua một điện trường mạnh, do đó các hạt bụi được tích điện và loại bỏ bởi lực hút giữa điện tích trái dấu. Lọc bụi tĩnh điện hiệu quả cao, thu được bụi nhiều hơn bởi khả năng chịu va đập lớn. Sau những năm 1990, các hệ thống lọc bụi tĩnh điện được sử dụng rộng rãi trong sản xuất nhiệt điện, lò nung xi măng, và ở điều kiện ô nhiễm phức tạp hơn.

Trong khi đó, hệ thống lọc túi vải sử dụng nguyên lý bẫy bụi và khí. Khí thải đưa vào bên trong túi lọc, bụi khí thải giữ lại trên thành túi, dần tạo thành bộ lọc có khả năng giữ lại các hạt bụi mịn có kích thước siêu nhỏ, bao gồm các hạt vật chất con người có thể hít vào.

Lọc bụi tĩnh điện là hệ thống xử lý khí thải công nghiệp được ứng dụng loại khói, dầu mỡ, hạt bụi có kích thước nhỏ khỏi dòng không khí chảy qua buồng lọc dựa trên nguyên lý ion hóa trong môi trường điện trường lớn 100kV và tách khói bụi ra khỏi không khí khi chúng đi qua tấm lọc bụi, phin lọc bụi có điện tích âm/dương bằng các lực hút điện tích trái dấu. Buồng lọc bụi tĩnh điện được cấu tạo bằng hình ống tròn sắp xếp theo cấu trúc tổ ong hoặc hình hộp chữ nhật với các tấm lọc phẳng, bên trong có đặt các tấm cực song song hoặc các dây thép gai.

Hiệu quả của hệ thống lọc bụi tĩnh điện phụ thuộc vào rất nhiều các yếu tố như: Kích thước của hạt bụi, tính chất của điện cực, thiết bị điện điều khiển điện trường, tốc độ chuyển động và sự phân bổ đồng đều lượng không khí trong vùng điện trường. Tùy theo lưu lượng bụi của buồng lọc mà hệ thống tự động điều chỉnh điện ấp cao áp vào buồng lọc, sao cho đạt được hiệu suất lọc bụi cao nhất. Với điều kiện hoạt động tốt hệ thống có thể đạt hiệu suất lọc bụi đạt trên 99,8%. Bụi sẽ được tách khỏi các tấm cực bằng nước rửa hoặc bằng việc búa gõ vào tấm cực.

Nguyên lý hoạt động của hệ thống lọc bụi túi vải như sau: Dòng khí lẫn bụi được nạp vào đầu vào của lọc bụi nhờ quạt hút, do tốc độ của dòng khí giảm đột ngột (diện tích mở rộng) nên phần lớn các hạt bụi mất vận tốc và rơi trực tiếp xuống phễu. Khí với bụi còn sót lại đi vào từng buồng riêng biệt chứa đựng túi lọc và đi lên giữa các túi. Bụi được giữ lại trên bề mặt bên ngoài của túi lọc do áp suất âm của khí, chỉ khí sạch được xuyên qua và vào phần đỉnh ở bên trên tấm dạng ống, sau đó vào đường ống đầu ra và đi ra ngoài.  

Khí chứa bụi được quạt hút hút theo đường ống dẫn khí vào các buồng lọc, đi qua túi lọc ra ngoài, ban đầu các hạt bụi lớn hơn khe giữa các sợi vải sẽ bị giữ lại trên bề mặt vải theo nguyên lý rây, các hạt nhỏ hơn bám dính trên bề mặt sợi vài lọc do va chạm, lực hấp dẫn và lực hút tĩnh điện, dần dần lớp bụi thu được dày lên tạo thành lớp màng trợ lọc, lớp màng này có khả năng giữ được cả những hạt bụi có kích thước rất nhỏ. Hiệu quả lọc đạt tới 98% và lọc được cả những hạt rất nhỏ nhờ có lớp trợ lọc. Theo thời gian cài đặt trước mỗi buồng sẽ được giũ túi bằng quạt thổi ngược. Các buồng lọc được giũ theo chu trình: đóng van gió chính, mở van khí thổi ngược, chạy động cơ rung đưa bụi xuống máng cào và bụi được thu hồi về qua hệ thống dẫn về kho chứa.

Về hiệu quả loại bỏ bụi theo lý thuyết, hệ thống lọc túi có hiệu quả thu bụi cao hơn và ổn định hơn bộ lọc bụi tĩnh điện. Thông thường hiệu quả loại bỏ bụi lên tới 99,9% trở lên, nồng độ bụi có thể ổn định dưới 50mg / Nm3, hoặc thậm chí lên tới 10mg / Nm3 hoặc hơn, gần như không phát thải, vì vậy, lượng phát thải sẽ thấp, có thể kiểm tra trực quan là không thấy khói trên ống xả. Tuy nhiên, hiệu quả lý thuyết này chỉ xảy ra ở điều kiện môi trường lý tưởng trong một khoảng nhiệt độ nhất định với độ ẩm thấp. Điều này gần như không khả quan đối với khí hậu nhiệt đới ẩm của Việt Nam và tình trạng nhiệt sinh trong quá trình sản xuất thực tế của các nhà máy, dẫn đến hiệu quả lọc bụi của hệ thống lọc bụi túi giảm đi rất nhiều, tuổi thọ của hệ thống cũng rút ngắn đáng kể. Trong điều kiện bình thường để đạt được hiệu quả loại bỏ bụi tương tự hoặc để đạt được cùng nồng độ xả, đầu tư lọc bụi tĩnh điện vẫn được đánh giá là đạt hiệu quả ổn định và lâu dài hơn đầu tư lọc túi, nên được các đơn vị thiết kế, chế tạo và tư vấn ưu tiên khuyên dùng.